真空加熱炉、熱場、炉内張り（機器一式および構成部品）

真空加熱炉、支持熱場、炉内ライナーは、高温真空製造業界における中核となる完全な設備であり、内部熱部品です。これらは、純モリブデン、モリブデン・ランタン合金、純タングステン、ステンレス鋼の4つの主要材料から精密に加工されています。当社は、カスタマイズされた一体型真空加熱炉、支持熱場一式、および耐高温炉内ライナー部品を提供しています。タングステンとモリブデンの超高融点とステンレス鋼の優れた耐食性を活用し、当社の製品は1200～2000℃の全範囲の真空熱処理に対応します。炭素粉塵汚染ゼロ、均一な温度場、安定した真空度を特長とし、航空宇宙、半導体結晶製造、光学材料、粉末冶金、新エネルギーなどのハイエンド産業分野で幅広く使用されており、高精度高温熱処理、焼結、結晶成長プロセスの標準的な完全ソリューションとして機能しています。

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製品仕様

製品パラメータ

製品情報

アイテム	詳細
熱場内部空洞サイズ	正方形／円形：幅50～2000mm、高さ80～3000mm、奥行き100～4000mm、フルサイズ非標準カスタマイズ可能
モリブデン基板の厚さ	加熱用モリブデンストリップ：0.1～2mm；遮熱用モリブデン箔：0.05～0.5mm；耐荷重炉板：0.5～20mm
断熱層	温度と真空度に応じて調整可能な、2～10層のモリブデン放射線遮蔽材
長期動作温度	ステンレス鋼シリーズ ≤1200℃、Mo1純モリブデンシリーズ ≤1600℃、Mo-Laモリブデン・ランタンシリーズ ≤1900℃、純タングステンシリーズ ≤2000℃
究極の耐熱性	真空／不活性雰囲気下：ステンレス鋼は1300℃まで、モリブデンは2200℃まで、タングステンは2400℃まで（短時間運転の場合）
真空適応性	究極の低温真空度≤5×10⁻³Pa、高温での低アウトガス、優れた残留酸素制御
寸法公差	ASTM B386規格に準拠、キーアセンブリの公差は±0.02～0.05mm、お客様の図面に基づきより厳しい公差にも対応可能です。
溶接プロセス	電子ビーム真空溶接は、気孔のない低漏洩率の溶接が可能で、高真空作業環境に適しています。

製品名	真空加熱炉、熱場、炉内張り
ブランド	ユンジエ
モデルシリーズ	Mo1 純モリブデンシリーズ / Mo-La モリブデン・ランタン高温シリーズ / タングステンシリーズ / ステンレス鋼シリーズ
主な材料	純モリブデン（Mo1）、モリブデン・ランタン合金（Mo-La）、純タングステン、耐高温ステンレス鋼
製造工程	精密板材成形 + 電子ビーム真空溶接 + 高温応力除去焼鈍 + 精密組立
基質の最低純度	モリブデン99.95%以上、タングステン99.95%以上。すべての材料は対応するASTM規格に準拠しています。
材料密度	純モリブデン 10.2g/cm³、モリブデン・ラジウム 9.9～10.1g/cm³、純タングステン 19.3g/cm³、ステンレス鋼 7.93g/cm³
主な利点	超高温耐性、均一で安定した温度場、高真空適応性、クリープ耐性および非変形性、低不純物および無公害、耐腐食性および耐久性、フルサイズ精密カスタマイズ可能
表面状態	真空焼鈍による清浄な表面、電解研磨による光沢のある表面、工業用精密研磨による表面
構造形態	円筒形、角型、特注形状。完全セットには、真空加熱炉本体、高温金属熱場、耐高温炉内張り、加熱部品、断熱シールド、支持フレーム、接続ファスナー、その他の付属品が含まれます。
サポート処理	圧延、曲げ加工、精密機械加工、真空溶接、研磨、多層組立、寸法校正、炉の完全カスタマイズ
最小注文数量	炉設備一式および個々のコンポーネントセットはカスタマイズ可能です

分類

使用温度と材質による分類

ステンレス鋼製真空炉／ライナー／熱場

耐食性、耐酸化性、高い構造剛性、コストパフォーマンスに優れた、高級耐高温ステンレス鋼を採用しています。1200℃以下の中温真空作業条件に適しており、一般的な真空熱処理、ハードウェアの焼鈍、従来のろう付け、中小規模の工業用焼結装置などに幅広く使用されています。

Mo1 純モリブデン標準炉部品

モリブデン純度99.95%以上、電気伝導率と熱伝導率が安定しており、アウトガスが少ない。1600℃以下の温度で不純物汚染なく長期間安定して動作し、中高温真空炉、従来の結晶前処理装置、超硬合金焼結装置に最適。

Mo-Laモリブデン・ランタン高温炉部品

0.1～1.8%の酸化ランタンを添加したこの材料は、優れた高温クリープ耐性を持ち、繰り返しの熱サイクル後も変形や垂れ下がりを起こしません。1900℃の高温で長期にわたり安定して動作し、サファイア結晶成長、炭化ケイ素結晶成長、およびハイエンド新素材焼結の中核となる支持部品として機能します。

純タングステン製超高温炉部品

純タングステンは融点が3410℃と高く、超高熱安定性、耐熱衝撃性、耐変形性、低蒸気圧といった優れた特性を備えています。2000℃という極めて高い温度下でも機械的特性が劣化しないため、特殊材料の超高温焼結、ハイエンド航空宇宙熱処理、精密結晶成長装置などに適しています。
構造形態による分類

円筒形モリブデン熱場

高温場の均一性と低熱損失を実現する円形放射加熱方式で、単結晶炉、サファイア結晶炉、管状真空炉に適しています。

正方形ボックス型モリブデン熱場

大きな積載容量と便利な治具トレイ配置を備えた正方形の内部空洞は、箱型真空焼結炉、熱処理炉、ろう付け炉に適しています。

カスタム特殊形状熱場

多段式、偏心式、分割式構造で、顧客の設備図面に基づいて1対1で加工され、特殊溶接炉や非標準的な科学研究実験装置に適用可能です。
機能的構成要素による分類

モリブデン加熱部品: モリブデンストリップヒーター、U字型モリブデン加熱シート、放射熱供給用モリブデン電極導電棒。

モリブデン断熱材部品：熱反射とエネルギー消費削減のための多層モリブデン箔放射熱シールド、上下端カバー熱シールド。

耐荷重構造部材: モリブデン製炉床、モリブデン製支持柱、ワークピースおよび材料トレイを支えるモリブデン製ブラケット。

締結および組立部品: モリブデンボルト、モリブデンナット、モリブデン接続シートは、高温でもクリープ緩みを起こさない。

補助アクセサリーモリブデン製ドラフトチューブ、モリブデン製シード結晶クランプ、モリブデン製遮蔽カバー、その他一体型支持部品。

仕様選定ガイド

温度範囲	基板構成	中核的な特徴	適用可能な炉およびプロセスシナリオ
1200℃以下のステンレス鋼シリーズ	一体型ステンレス鋼製炉内張り、断熱空洞、支持フレーム、およびシール構造部品	耐腐食性、耐酸化性、安定した構造、コスト効率、清掃とメンテナンスが容易、優れた気密性	一般産業用真空加熱炉、ハードウェア部品焼鈍炉、金型真空熱処理炉、小型・中型真空ろう付け装置、従来型材料乾燥・焼結炉
≤1600℃ Mo1 純モリブデンシリーズ	0.03～0.3mm厚のモリブデン箔製遮熱板、0.2～1.5mm厚のモリブデン製加熱ストリップ、1～6mm厚のモリブデン製耐荷重板	高純度、低アウトガス、均一な温度分布、良好な加工性、炭素汚染なし、高真空洗浄プロセスに適しています	超硬合金焼結炉、電子部品真空コーティング炉、半導体アクセサリ前処理炉、実験室用高温真空実験炉、新エネルギー粉末焼結装置
1600–1900°C Mo-La モリブデン-ランタンシリーズ	0.05～0.4mm厚のMo-La断熱箔、0.3～2mm厚のMo-La加熱ストリップ、2～8mm厚のMo-La耐荷重板	優れた高温クリープ耐性、長いサイクル寿命、高温変形なし、優れた断熱性能、長期連続生産に適しています	サファイア結晶成長炉、炭化ケイ素結晶成長炉、5G半導体基板熱処理炉、光学ガラス精製炉、ハイエンドセラミック焼結炉
1900～2000℃純タングステンシリーズ	0.1～0.5mm厚のタングステン箔製遮熱板、0.5～2mm厚のタングステン製発熱ストリップ、3～10mm厚のタングステン製耐荷重構造	超高温耐性、耐熱衝撃性、極めて低い変形、安定した高温機械的特性、超低真空脱ガス	超高温特殊セラミック焼結炉、航空宇宙・軍事用合金熱処理炉、ハイエンド結晶成長炉、精密新素材研究開発用真空炉

製品の主要特性

幅広い高温耐性と安定した性能

ステンレス鋼は中温域での使用に適しており、モリブデン系は1900℃までの高温に耐え、タングステン系は2000℃までの超高温に耐えます。いずれのシリーズも高温下でも軟化、崩壊、変形がなく、炭素汚染や粉塵の飛散といった問題を完全に回避し、様々な高純度精密加工に完全に適合します。

均一な温度分布と低エネルギー消費

多層構造のモリブデン製放射線遮蔽板は熱放射を反射し、熱損失を40%以上低減します。周囲のモリブデンストリップ加熱により炉内の温度差を±3～5℃以内に制御し、結晶成長に必要な精密な温度勾配制御を実現します。

高真空環境への適応性と低アウトガス

真空アニーリング脱ガス処理を施した高純度モリブデン基板は、極めて低い高温蒸気圧とゼロ揮発性不純物を特徴としています。炉内の残留酸素濃度を制御できるため、半導体や光学材料の高純度プロセスに最適です。

高温クリープ耐性と超長寿命

Mo-La材と純タングステン材は優れた高温クリープ耐性を備え、数百回の熱サイクル後もたるみや変形が生じません。ステンレス鋼構造は安定性と耐老化性に優れており、真空炉設備のメンテナンスおよび交換コストを大幅に削減します。

優れた電気伝導性と熱伝導性

安定した導電率と熱伝導率により、発熱体の均一な加熱と導電接合部の低い接触抵抗が確保され、局所的な過熱や焼損を防ぎます。

耐腐食性および非磁性

真空および不活性雰囲気下では酸化は発生せず、ほとんどの金属やセラミックスとも反応しません。非磁性設計のため、精密センシングや半導体検出プロセスに支障をきたしません。

精密な加工性と容易な組み立て

モリブデン材料は優れた延性を持ち、曲げ加工、圧延加工、精密機械加工、電子ビーム溶接に対応します。モジュール式の分割設計により、分解、組み立て、メンテナンスが容易です。

完全な製造工程

ステンレス鋼板の切断と成形 → 高純度モリブデン/タングステン粉末の準備 → 静水圧プレス → ブランクの鍛造と熱間圧延 → 多パス精密冷間圧延 → 真空高温応力除去焼鈍 → CNC精密切断、曲げ、圧延成形 → 炉内張りおよび熱場組立のための電子ビーム真空溶接 → 溶接欠陥検出 → 電解研磨/精密研削洗浄 → 多層断熱および炉構造組立 → 寸法校正および公差再検査 → 真空脱ガス前処理 → 完全な炉試運転および完成品梱包、完全な材料試験レポートの提供。

応用分野

半導体・結晶産業

単結晶シリコン成長炉、サファイア結晶炉、炭化ケイ素／窒化アルミニウム結晶成長炉、半導体ウェーハ焼鈍炉、薄膜成膜真空炉向けの完全なモリブデン熱場、内部熱システムを提供し、安定した結晶純度と温度勾配を保証します。

ハイエンド航空宇宙製造

超合金真空熱処理炉およびチタン合金真空ろう付け炉に適用され、酸化や脱炭を一切起こさず、航空機エンジンや衛星構造部品の厳しい高温処理要件を満たします。

粉末冶金および超硬合金産業

超硬合金焼結炉、MIM（金属射出成形）脱脂焼結炉、磁性材料高温熱処理炉などに使用されます。炭素不純物汚染ゼロにより、製品の密度と表面品質が向上します。

光学・新エネルギー産業

光学ガラス精製真空炉、太陽電池スパッタリング装置の熱処理場、水素燃料電池プレート焼結炉などに適用されています。高純度でクリーンな熱処理環境は、光電変換効率を向上させます。

科学研究および特殊機器産業

実験室用小型高温真空炉、新素材研究開発用焼結炉、医療機器用非磁性熱処理装置、真空管製造用内部熱部品などに適しています。

エンタープライズサポートサービス

宝鶏雲傑は、真空加熱炉、高温炉内張り、金属熱場一式などの特注生産に長年携わってきました。当社は主に、ステンレス鋼、純モリブデン、モリブデンランタン、純タングステン製の設備一式と部品を提供しています。特注サービスでは、真空加熱炉本体、耐高温炉内張り、多層断熱熱場、加熱部品、支持構造部品など、全シリーズを網羅しています。図面作成、旧炉改修、寸法調査・マッピング、ソリューション最適化など、ワンストップサービスを提供しています。当社の製品は、あらゆる産業の高温真空生産プロセスに対応し、ハイエンド製造や新素材研究開発向けに、安定した信頼性の高い高温真空設備ソリューションを提供します。

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純タンタル（R05200、ASTM B708米国規格準拠）および各種金属アクセサリー、カスタム加工部品のソリューションを提供する専門企業として、宝鶏雲傑は精密加工による図面作成能力に注力し、標準部品から複雑なカスタム部品まで、お客様の加工ニーズに完全にお応えします。チタン、タンタル、ニオブ、ジルコニウムなど、あらゆる金属材料および製品について、図面をご提供いただければ、ご相談やカスタマイズを承ります。設計を正確に再現し、効率的に製品をお届けいたします。